DH系列多弧镀膜机

作者:甘肃真空设备有限公司时间:2022-09-22点击:1418次

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※ 系列产品参数


型号项目

DH-8

DH-14

DH-18

DH-26

DH-26A

  真空室尺寸   mm

Φ800×1100

Φ1250×1500

Φ1600×1750

Φ1600×2250

Φ2600×2100

  多弧靶数量   只

8

14

18

26

26

  极限压力      Pa

1.5×10-3

  工作压力      Pa

1.2×10-2

  恢复真空时间  min

15(大气~10-3Pa)

  工作转动     rpm

公转、自转/二次自转

  工作气体

Ar 纯度99.99%