ZZD电阻蒸发镀膜系列

作者:甘肃真空设备有限公司时间:2022-09-22点击:1462次

※ 系列产品参数

型号项目

ZZD-1000

ZZD-1400

ZZD-1600

ZZD-2050

  真空室规格   mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

  极限压力    Pa

1×10-3

  工作压力    Pa

2×10-2

  恢复真空时间  min

≤10 (从大气至2×10-2Pa)

  压升率     Pa/h

≤0.3

  离子轰击源   KVA

4

4

12

20

  蒸发源Ⅰ    KVA

15

20

25

40

  蒸发源Ⅱ    KVA

15

20

27/18

45

  蒸镀材料

Al和SiO2/MgO2

  工件转动方式

公转加自转(无级调速)

  工件自转轴数

6

10

  控制方式

PLC

PLC/PLC+计算机

  冷却水量    m3/h

5

5

7

9

  总功率   KW     

~60

~85

~120

~200


型号项目

ZZD-1000

ZZD-1400

ZZD-1600

ZZD-2050

  真空室规格   mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

  极限压力    Pa

1×10-3

  工作压力    Pa

2×10-2

  恢复真空时间  min

≤10 (从大气至2×10-2Pa)

  压升率     Pa/h

≤0.3

  离子轰击源   KVA

4

4

12

20

  蒸发源Ⅰ    KVA

15

20

25

40

  蒸发源Ⅱ    KVA

15

20

27/18

45

  蒸镀材料

Al和SiO2/MgO2

  工件转动方式

公转加自转(无级调速)

  工件自转轴数

6

10

  控制方式

PLC

PLC/PLC+计算机

  冷却水量    m3/h

5

5

7

9

  总功率   KW     

~60

~85

~120

~200